Chemical Supply System化学品供应系统简介 1课 程 大 纲系统之目的化学品之种类与用途系统之基本要求化学品供应质量要求系统之流程图CDU之流程图TEE-BOX之构造VMB之构造SAMPLING BOX之构造系统设备之材料要求运转操作注意事项2系统之目的供应高纯度化学品以清洗芯片上之杂质、微粒子供应高纯度化学品以蚀刻芯片图案供应高纯度化学品以显影芯片图案供应高纯度化学品以为化学气相沉积前置反应物供应高纯度化学品以研磨芯片供应高纯度化学品以清洗制程设备零配件3化学品之种类与用途(一)酸性:腐蚀性腐蚀性:H2SO4,HCl,HNO3,HF,H3OP4.:H2SO4,HCl,HNO3,HF,H3OP4.毒性毒性:HF,HNO3,Poly-Mix,BOE.HF,HNO3,Poly-Mix,BOE.碱性:NH4OH,KOH,Developer.NH4OH,KOH,Developer.有机溶剂易燃液体易燃液体:IPA,Acetone,NBA,:IPA,Acetone,NBA,光阻液光阻液.腐蚀性有机溶剂腐蚀性有机溶剂:EKC,EBR,HMDS.:EKC,EBR,HMDS.氧化性
