第8章半导体传感器课件.ppt

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第第8 8章章 半导体传感器半导体传感器8.1 8.1 气敏传感器气敏传感器*8.2 8.2 湿敏传感器湿敏传感器*8.3 8.3 磁敏传感器磁敏传感器*8.4 8.4 色敏传感器色敏传感器8.5 8.5 半导体传感器的应用半导体传感器的应用、气敏传感器概念及组成、气敏传感器概念及组成气敏传感器气敏传感器-测定气体的测定气体的类别类别、浓度浓度和和特定成分特定成分,并,并 将其转换为电信号的器件。将其转换为电信号的器件。主要类型主要类型-电阻式电阻式半导体气体半导体气体传感器、传感器、电容式陶瓷电容式陶瓷气气体传感器、体传感器、电化学气体电化学气体传感器等。传感器等。8.1.1 8.1.1 半导体气敏传感器概述半导体气敏传感器概述主要组成主要组成-敏感敏感、识别与信号放大处理识别与信号放大处理 。8.1 气敏传感器气敏传感器 ()按结构分类()按结构分类干式传感器干式传感器-使用时必须加热,使电介质和催化剂长期使用时必须加热,使电介质和催化剂长期 处于高温状态。往往会导致性能劣化。处于高温状态。往往会导致性能劣化。湿式传感器湿式传感器-电极表面浸入电解液中,根据化学反应所电极表面浸入电

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