Inst.Of PhotoelectronicsX射线光电子能谱(射线光电子能谱(XPS)X-ray Photoelectron SpectroscopyInst.Of Photoelectronics电子能谱学概论电子能谱学概论电子能谱学的定义电子能谱学的定义电子能谱学可以定义为利用具有一定能量的粒子(光子,电子,粒子)轰击特定的样品,研究从样品中释放出来的电子或离子的能量分布和空间分布,从而了解样品的基本特征的方法。入射粒子与样品中的原子发生相互作用,经历各种能量转递的物理效应,最后释放出的电子和粒子具有样品中原子的特征信息。通过对这些信息的解析,可以获得样品中原子的各种信息如含量,化学价态等。Inst.Of Photoelectronics电子能谱学的研究内容电子能谱学的研究内容电子能谱学的内容非常广泛,凡是涉及到利用电子,离子能量进行分析的技术,均可归属为电子能谱学的范围。根据激发离子以及出射离子的性质,可以分为以下几种技术:紫外光电子能谱(UltravioletPhotoelectronSpectroscopy,UPS)X射线光电子能谱(XrayPhotoelectronSp