单晶断棱情况分析2022/12/1711.单晶断棱的常见分类2.单晶断棱的原因分析3.如何减少单晶断棱4.单晶炉连续成晶不良怎么办怎么才算是连续成晶不良连续成晶不良要检查哪几个方面目 录 Contents2022/12/172单晶断棱常见分类1放肩后200mm内卡棱2单晶等径中下部卡棱3四条棱线同时断4四条棱线不同时断2022/12/173放肩后200mm内卡棱单晶等径中下部卡棱四条棱线同时断四条棱线不同时断引细颈放肩转肩存在问题热场温度梯度存在问题熔体肯定存在杂质熔体内存在高熔点杂质单晶断棱原因分析2022/12/174几乎所有断棱都和杂质有关，因为单晶的生长力是很强的，除非有外来异向晶核的侵入晶体生长前沿和晶体内产生了较大热内应力（超出晶体弹性形变的范畴，产生范性形变）才会破坏单晶的无位错生长。尽量选用好的硅原料，不用或少用埚底料，选用优质涂钡坩埚，原料化腐清洗处理的好，炉子排气排的好，工艺操作做的细，断棱现象肯定会大大降低。如何减少单晶断棱2022/12/175引晶不好未完全消除位错，在放肩或之后工序中会卡棱，但据说在等径400以后这个原因就可以消除了。温度波动太厉害，强大的热冲
