第四章第四章 无机薄膜材料与制备技无机薄膜材料与制备技术术1 1pptppt课件课件4.1 薄膜及其特性 一、一、薄膜的定义及其特性薄膜的定义及其特性二、二、薄膜材料的分类薄膜材料的分类 三、薄膜的结构特征与缺陷四、薄膜和基片2 2pptppt课件课件一、一、薄膜的定义及其特性薄膜的定义及其特性什么是什么是“薄膜薄膜”（thinfilm），多），多“薄薄”的的膜才算薄膜？膜才算薄膜？薄膜有时与类似的词汇薄膜有时与类似的词汇“涂层涂层”（coating）、）、“层层”（layer）、）、“箔箔”（foil）等有相同）等有相同的意义，但有时又有些差别。的意义，但有时又有些差别。通常是把膜层无基片而能独立成形的厚度作通常是把膜层无基片而能独立成形的厚度作为薄膜厚度的一个大致的标准，规定其厚度为薄膜厚度的一个大致的标准，规定其厚度约在约在1m左右。左右。3 3pptppt课件课件 薄膜材料的特殊性同块体材料相比，由于薄膜材料的厚度很薄，同块体材料相比，由于薄膜材料的厚度很薄，很容易产生很容易产生尺寸效应尺寸效应，就是说薄膜材料的物性，就是说薄膜材料的物性会受到薄膜厚度的影响。会受到薄膜厚度的影
