任娜-WEEKLY-REPORT-20121110氧化层击穿原理研究1P P T课 件Outline1.氧化硅的结构和性质2.Si-SiO2系统3.氧化硅的击穿模型4.检测氧化硅质量的方法2ppt课件1.氧化硅的结构和性质（1）二氧化硅的结构二氧化硅薄膜具有无定形玻璃状结构，基本单元是一个由Si-O原子组成的正四面体，硅原子位于正四面体的中心，氧原子位于四个角顶，两个相邻的四面体通过一个桥键氧原子连接起来构成无规则排列的二维网络结构。无定形二氧化硅膜不同于石英晶体，石英晶体的结构可看成是由Si-O正四面体基本单元向三维空间不断延伸、周期重复排列的结果，其特点是“长程有序”。而二氧化硅从整体上看，原子的排列是混乱的，不规则的，即“长程无序”，但从局部看，原子的排列并非完全杂乱，而是有一定规则，即“短程有序”。3ppt课件1.氧化硅的结构和性质图1 Si-O组成的正四面体图2 长程有序的石英晶体4ppt课件1.氧化硅的结构和性质在二氧化硅网络中，氧离子起着连接Si-O四面体的作用，并且存在着两种不同的状态桥键氧和非桥键氧。为两个硅原子所共有的氧离子称为桥键氧，只同一个硅原子相连接的氧离子称
