二次配工程规范.doc

1、中緯積體電路(寧波)有限公司Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc.資料名稱TITLE:氣體管線二次配工程規範頁 數 PAGE:1 OF 32資料號碼SPEC NONS-SP006版本 REV.0本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產, 非由書面許可,不准透露或使用本文件, 亦不准複製或轉變成任何其他形式使用THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED TH

2、E REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc.May 22, 2003 file name：e5035f8a90d4c7f10d9b1018e447007d.pdf中緯積體電路(寧波)新建工程氣 體 管 線 二 次 配 工 程 規 範中緯積體電路(寧波)有限公司Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc.資料名稱TITLE:氣體管線二次配工程規範頁 數 PAGE:2 OF 32資料號碼SPEC NONS-

3、SP006版本 REV.0本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產, 非由書面許可,不准透露或使用本文件, 亦不准複製或轉變成任何其他形式使用THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF Ningbo SINOMOS Semicond

4、uctor Inc.May 22, 2003 file name：e5035f8a90d4c7f10d9b1018e447007d.pdfCONTENTS PAGES1. 目的 32. 範圍 33. 文件送審 44. 施工說明 45. 其他說明 96. 驗收標準 107. 保固期限 12中緯積體電路(寧波)有限公司Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc.資料名稱TITLE:氣體管線二次配工程規範頁 數 PAGE:3 OF 32資料號碼SPEC NONS-SP006版本 REV.0本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產, 非由書面許可,不准透露或使用本文件, 亦

5、不准複製或轉變成任何其他形式使用THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc.May 22, 2003 file name：e5035f8a90d4c7f10d9b1018e

6、447007d.pdf1. 目的為使設備機台按照計劃順利裝機、運轉，且亦能維護 Hook Up 二次配管施工之品質及作業安全。本規範如有任何疑慮依業主及總顧問公司解釋為準。2. 範圍2.1. 製程設備氣體管線 Hook-up 工程材料採購及管路安裝；Hook-up 範圍，GN2、PN2、PO2、CDA 自主管預留閥至機台 內部接點 (含支管)，PH2、SiH4、SiH4/N2由氣體站 氫氣純化器出口及 SiH4、SiH4/N2氣瓶櫃出口接至機台(含 VMB)，其他特殊氣體自位於氣體房或 Subfab 之氣瓶櫃/架至機台內部接點(含 VMB/VMP)，其中必要的管線、管件及 焊接所需氣體，均由承

7、包商負責提供。GN 2、PN2、PO2各支管位置及預留take-off 閥尺寸及數量，請參照 ”FAB 棟一層大宗氣體二次配平面圖”(圖號 SP-211)；各 VMB/VMP 位置，請參照”FAB 棟一層特殊氣體二次配平面圖”( 圖號 SP-212)；氣體站至 FAB 間氣體管線，請參照”氣體站至 FAB 棟氣體二次配管線平面圖”(圖號 SP-234)；GN2、PN2、PO2、CDA 自 take-off 閥至機台間所需裝設之閥件，請參照 ”SP-2 二次配管詳圖”( 圖號 SP-231)；而 take-off 閥及 VMB/VMP 與機台銜接點等相關資料，請參照附件一”Bulk gas ta

8、ke-off list”、附件二 ”Specialty gas VMB/VMP list”及附件三”CDA take-off list”。承包商需根據該表資料，設計至機台管線之路徑。2.2. 前項氣體管線 Hook-up 工程之管路細部設計、施工圖繪製、 ISO 圖繪製(Auto 2000 或以上版本圖檔予顧問及業主)、安裝後洩漏偵測、各項不純物量測、訊號測試、材料存放及廢料清潔等雜項工程。其中施工圖及ISO 圖面，需依照機台用量流程圖 (P&ID)及機台設備外觀圖繪製，並配合材料明細表供業主確認。2.3. 本項工程為連工帶料施工，並包含施工中所需之施工工具、施工設備、無塵服、安全防護器具、管

9、支撐及雜項消耗等，均由承包商負責。2.4. 配合”二次配工程說明”(規範標號 NS-SP001)要求所需各項雜項費用。2.5. 所有管路標示，管路標示依照”二次配工程說明”辦理。中緯積體電路(寧波)有限公司Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc.資料名稱TITLE:氣體管線二次配工程規範頁 數 PAGE:4 OF 32資料號碼SPEC NONS-SP006版本 REV.0本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產, 非由書面許可,不准透露或使用本文件, 亦不准複製或轉變成任何其他形式使用THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS TH

10、E EXCLUSIVE PROPERTY OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc.May 22, 2003 file name：e5035f8a90d4c7f10d9b1018e447007d.pdf2.6. 所有管路防震固定支撐架之安裝定位。2.7. 高架地板開孔及收邊之工程發包、請款

11、，切割區域管理。2.8. 氣體站至 FAB 間管線所需管橋由業主提供，承包商需負責依業主指示規劃氣體管線路徑，並負責安裝所需管夾等固定裝置。3. 文件送審文 件 名 稱 投 標 階 段(3份 ) 設 計 階 段(5份 ) 竣 工 階 段(5份 )1. 報 價 表 (Quotation form) X2. 專 案 組 織 表 (Project organization) X X3. 專 案 執 行 時 程 表 (Project schedule) X X4. 工 程 界 面 清 單 及 位 置 圖 (List & location of tie-in point) X X X5. 系 統 管 儀

12、 圖 (P&IDs) X X X6. 焊 接 設 備 清 單 (Equipment list) X X X7. 設 備 及 材 料 型 錄 及 資 料 (Vendors catalogs and information to support his quotation， including electrical system & I/C system)X X X8. 儀 表 安 裝 詳 圖 (Instrument installation drawing) X X9. 送 審 文 件 清 單 及 時 程 (Transmittal list and schedule) X10. 品 質 管 制

13、程 序 書 (Quality control procedure) X11. 工 地 辦 公 室 及 物 料 暫 存 區 需 求 (Site office and warehouse requirements) X12. 驗 收 及 測 試 計 劃 /報 告 (Inspection & test plan/reports) X X13. 製 造 商 測 試 報 告 (Manufactures inspection & test reports/records) X X14. 計 算 書 (Contractors calculations) X X15. 管 線 配 置 圖 (Pipe rout

14、ing plan) X X X16. 管 線 支 撐 詳 圖 (Pipe support drawing) X X17. 管 材 規 格 (Piping material specification) X X18. 管 線 施 工 程 序 書 (Piping construction specification) X X註： 1. 承包商需於得標後一周內提出文件送審清單，並於施工前2周提送設計文件及相關管件及標示實體供審核；送審圖面則需在業主提出意見後3天內修改並再次送審。2. 所有送審文件必須以中文或英文書寫；英文送審文件需附中文說明。3. 所有竣工階段需提送之文件均需檢附電子檔4. 施工說

15、明4.1. 一般說明中緯積體電路(寧波)有限公司Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc.資料名稱TITLE:氣體管線二次配工程規範頁 數 PAGE:5 OF 32資料號碼SPEC NONS-SP006版本 REV.0本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產, 非由書面許可,不准透露或使用本文件, 亦不准複製或轉變成任何其他形式使用THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. AND SHALL NOT BE DIST

16、RIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc.May 22, 2003 file name：e5035f8a90d4c7f10d9b1018e447007d.pdf4.1.1. 承包商應於施工前提送施工程序書及管路測試程序書，經審核通過後，方可據以施工。4.1.2. 承攬商需於工作場所設置工程負責人，需有相關工程經歷三年以上，其工作職責為：4.1.2.1. 施 工 進 度 控 制 。4.1.2.2. 施 工

17、 人 員 管 理 及 安 排 。4.1.2.3. 材 料 數 量 管 制 。4.1.2.4. 現 場 會 勘 放 樣 。4.1.2.5. 參 與 承 攬 商 溝 通 協 調 會 議4.1.3. 承攬商需於工作場所設置品管負責人，需有相關工作經歷三年以上，其階層與工程負責人同等，其工作職責為：4.1.3.1. 施 工 品 質 控 制 。4.1.3.2. 施 工 完 工 品 質 驗 收 。4.1.3.3. 施 工 驗 收 報 告 匯 總 。4.1.3.4. 原 料 進 廠 自 主 檢 查 。4.1.4. 承攬商需於工作場所設置物管負責人，需有相關工作經歷一年以上，其工作職責為：4.1.4.1. 材

18、 料 數 量 管 理 。4.1.4.2. 進 廠 料 件 驗 收 。4.1.5. 承攬商需於工作場所設置工安衛負責人，需有相關工作經歷一年以上，其階層與工程負責人同等，其工作職責為：4.1.5.1. 現 場 安 全 衛 生 工 作 監 督 。4.1.5.2. 參 與 承 攬 商 安 全 衛 生 協 調 會 議 。4.1.5.3. 承 攬 商 施 工 人 員 安 全 衛 生 訓 練 。4.1.6. 施工人員數組，依工程數量適時增加人員，但在工程期限內最中緯積體電路(寧波)有限公司Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc.資料名稱TITLE:氣體管線二次配工程規範頁 數 P

19、AGE:6 OF 32資料號碼SPEC NONS-SP006版本 REV.0本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產, 非由書面許可,不准透露或使用本文件, 亦不准複製或轉變成任何其他形式使用THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION O

20、F Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc.May 22, 2003 file name：e5035f8a90d4c7f10d9b1018e447007d.pdf低需保留三組，每組人員最少三人，每組至少有一人有焊接執照，並由一資深組長帶領，所有進廠施工之人員必須經過認可且通過工安檢定之人員。4.1.7. 品管人員數組，依工程數量適時增加人員，但在工程期限內最低需保留一組，每組人員最少二人，由一資深組長帶領，但不可由品管負責人擔任。4.1.8. 承攬商有任何人員調動需經過認可，且業主相關之人員有權提出異議要求更換，承攬商不得有異議。4.2. 材料說明4.2.1. 氣體管

21、線之分類及其材質要求如下表規定辦理。氣體種類 材質a. 一般大宗氣體 GN2CDACDA (for burnbox)SUS 316L BA/ 5SSUS 316L AP/ 5SSUS 304 / 5Sb. 自燃性氣體 SiH4, SiH4/N2, PH3/N2 內管 SUS 316L EP/外管 SUS 304c. 其他氣體 PN2, PO2, SiH2Cl2, NH3, PH2, B2H6/N2, Cl2, HBr, NF3, BCl3, HF, CHF3, CF4, C2F6, SF6, PAr, PHe, N2O, He/O2SS 316L EP/ 5S；另BCl3、SiH2Cl2之管線

22、需提供加熱帶以確保供氣量。4.2.2. 各類管線、管件及儀表廠牌，請依下表規定辦理，承包商應以一次配選用廠牌為優先考量，如欲選用非下表規定之廠牌，需經過業主審核同意後使得選用。項目 規格 廠牌a. SUS 316L BA pipe Rmax 3.0m Sumikin/ Kuzeb. SUS 316L BA tube Rmax 3.0 m Sumikin/ Kuzec. SUS 316L BA fitting (for pipe) Rmax 4.5 m Kitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-letd. SUS 316L BA fitting (for tube) Rmax 4.5

23、m Kitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-lete. SUS 316L EP pipe Rmax 0.7 m Sumikin/ Kuzef. SUS 316L EP tube (註 1) Rmax 0.7m Sumikin/ Kuzeg. SUS 316L EP fitting (註 1) Rmax 0.7m Kitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-leth. SUS 316L BA valve (15A) Bellow valve, Rmax 4.5 m Kitz/ Ohno/ Motoyama中緯積體電路(寧波)有限公司Ningbo SINOMOS Semicon

24、ductor Inc.資料名稱TITLE:氣體管線二次配工程規範頁 數 PAGE:7 OF 32資料號碼SPEC NONS-SP006版本 REV.0本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產, 非由書面許可,不准透露或使用本文件, 亦不准複製或轉變成任何其他形式使用THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE

25、OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc.May 22, 2003 file name：e5035f8a90d4c7f10d9b1018e447007d.pdf項目 規格 廠牌i. SUS 316L BA valve ( 15A) Diaphragm valve, Rmax 3.0 m Kitz/ Fujikin/ Ohno/ Motoyamaj. SUS 316L EP valve (15A) Bellow valve, Rmax 1.0 m Kitz/ Ohno/ Motoyamak. S

26、US 316L EP valve ( 15A) Diaphragm valve, Rmax 0.7 m Kitz/ Fujikin/ Ohno/ Motoyamal. Regulator SUS 316L EP, VCR type, Rmax 1.0 mAP-tech/ Veriflo/ Tescom/ Crownm. Filter in VMB/ VMP SUS 316L EP, VCR type, pore size：0.003 mPall/ Milliporen. Gasket filter SUS 316L EP, pore size：0.01 m Pall/ Millipore註：

27、1. Cl2、NF3等氣體需選用 VIM+VAR 鋼材。4.2.3. VMB/VMP 設備4.2.3.1. 承 包 商 需 負 責 設 計 及 提 供 特 殊 氣 體 供 應 所 需VMB 及 VMP，其 安 裝 數 量 及 位 置 請 參 照 ”附 件 二 Specialty Gas VMB list”及 相 關 圖 面 指 示 辦 理 ；經過 VMB/VMP 後 管 線 則 直 接 接 至 使 用 點 。4.2.3.2. VMB 及 VMP 所 需 安 裝 各 項 閥 件 及 儀 表 請 參 照 ”VMB/VMP 示 意 圖 ”(圖 號 SP-230)指 示 辦 理 。承 包商 於 每 種

28、 氣 體 之 VMB/VMP，均 需 於 進 氣 主 管 路預 留 3/8”隔 膜 閥 (氫 氣 為 1/2”)以 供 未 來 擴 充 用 。4.2.3.3. VMB 需 具 備 差 壓 計 以 檢 視 排 氣 之 正 常 與 否 。4.2.3.4. VMB 須 具 備 緊 急 關 斷 功 能 ，且 緊 急 關 斷 需 能 於 現場 及 遠 端 控 制 。4.2.3.5. 所 有 儀 電 設 備 之 組 裝 與 測 試 需 根 據 NFPA 70，National Electrical Code。4.2.3.6. 得 標 商 應 於 現 場 進 行 VMB/VMP 之 功 能 測 試 ，現場

29、測 試 其 氦 測 漏 率 應 110-9atm-cc/sec。4.2.3.7. 各 VMB 所 需 氣 體 偵 測 器 由 業 主 提 供 ，承 包 商 需 負責 安 裝 及 連 結 各 項 控 制 線 路 。4.2.3.8. VMB 內 所 有 閥 件 與 管 件 均 需 以 VCR 形 式 銜 接 。4.2.4. 承包商於每批材料進廠時，需檢附原廠檢驗及測試報告，若為中緯積體電路(寧波)有限公司Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc.資料名稱TITLE:氣體管線二次配工程規範頁 數 PAGE:8 OF 32資料號碼SPEC NONS-SP006版本 REV.0本

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31、22, 2003 file name：e5035f8a90d4c7f10d9b1018e447007d.pdf國外進口品則需附進出口文件；所有材料須經業主對於外觀、潔淨度進行檢驗，合格後方能進廠；如有需要也要將所有材料樣品交由公證單位檢驗，費用由承包商負擔，如檢驗未達標準造成延誤之後果，由承包商負責。4.2.5. 所有二次配工程所需材料，備料時間需於機台 Move-in 前一個月完成，且須有足夠的安全庫存量。4.2.6. 無共用管架處之獨立配管管路 support 由承包商負責，support/clamps/screws/nuts 材質應為 SUS 304 之材質，承包商需經過計算後，提送標準

32、圖送審。4.3. 施工規範4.3.1. 預製作業4.3.1.1. 於 機 台 move in 前 三 十 天 進 行 現 場 會 勘 ，承 包 商依 會 勘 結 果 繪 製 電 腦 施 工 圖 。4.3.1.2. move in 前 二 十 五 天 進 行 套 圖 會 議 ，確 認 各 管 線之 高 程 及 路 徑 。4.3.1.3. 高 純 度 管 件 需 在 Class 1,000 或 更 佳 的 環 境 內 進行 焊 接 ，承 包 商 需 在 現 場 提 供 臨 時 之 無 塵 作 業 環境 ，所 有 管 線 或 管 件 之 預 製 作 業 應 在 該 無 塵 環 境中 進 行 。4.3

33、.1.4. 承 包 商 需 提 供 QC 儀 器 廠 商 最 近 三 個 月 內 之 校 正報 告 ，測 試 報 告 及 校 正 資 料 需 負 責 工 程 師 核 可 方可 使 用 。4.3.2. 安裝作業4.3.2.1. GN2、PN2、PO2、CDA 等 管 線 接 至 機 台 前 ，需 裝設 隔 膜 閥 、調 壓 器 、壓 力 表 及 過 濾 器 ，詳 細 安 裝 數量 及 位 置 請 參 照 ”SP-2 二 次 配 管 詳 圖 ”(圖 號 SP-231)指 示 辦 理 。4.3.2.2. 所 有 焊 接 機 具 須 能 提 供 給 十 組 以 上 人 員 同 時 使 用 ；中緯積體電

34、路(寧波)有限公司Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc.資料名稱TITLE:氣體管線二次配工程規範頁 數 PAGE:9 OF 32資料號碼SPEC NONS-SP006版本 REV.0本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產, 非由書面許可,不准透露或使用本文件, 亦不准複製或轉變成任何其他形式使用THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REP

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36、即 設計 一 組 支 撐 ，並 於 施 作 前 ，提 送 相 關 設 計 資 料 、圖面 ，供 業 主 審 閱 核 准 ；如 遇 現 場 需 求 ，承 包 商 得 視實 際 狀 況 增 加 支 撐 數 量 。4.3.2.4. 切 管 作 業 ：a) 管徑 15 A 以下，可以用手動切斷器；管徑 15 A以上，需使用電動管車刀切斷，不能使用一般鋸弓。切管完後，管壁內外皆有毛邊，須用刮刀剷除毛邊。b) 管件預作處理前(切管或組管)，須持續以 GN2吹淨。4.3.2.5. 彎 管 作 業 ：1/2”以 下 配 管 採 彎 管 配 管 ，若 因 現 場 因素 無 法 執 行 ，則 一 律 使 用 El

37、bow 施 工 ；彎 管 需 使用 合 適 之 彎 管 器 ，不 可 使 用 手 彎 。4.3.2.6. 焊 接 作 業 ：a) 承包商需於每日工程開始前於現場製作二份各種不同管徑之標準焊道樣品，以供未來現場 Test Piece 目視檢察比對之標準。b) 承包商需於下列時機，當場施作 Test Piece，不可先行施作，並須紀錄焊接參數，經 QA/QC 人員檢驗確認合格後，施工承商才能開始施工。1. 每日焊接開始前及結束後。2. 改變管徑大小、鎢棒更換、焊接程式變更後。3. 焊接工作中斷超過一小時或變更電源後。4. 任何有缺陷之焊接情況發生後。中緯積體電路(寧波)有限公司Ningbo SIN

38、OMOS Semiconductor Inc.資料名稱TITLE:氣體管線二次配工程規範頁 數 PAGE:10 OF 32資料號碼SPEC NONS-SP006版本 REV.0本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產, 非由書面許可,不准透露或使用本文件, 亦不准複製或轉變成任何其他形式使用THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLO

39、SED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc.May 22, 2003 file name：e5035f8a90d4c7f10d9b1018e447007d.pdfc) 本次氣體管線二次配工程均採用自動軌道氬焊(auto-orbital TIG)技術施工。5. 其他說明5.1. 依業主之廠務單位提出之需求作為施工依據。5.2. 配合業主系統運轉之需求施工，若發生趕工情形，須配合加班或增派人力，以如期完工。5.3. 管線沖淨所需任何裝備及各項安全必須之設施裝備，均由承包商自

40、行負責提供。5.4. Hook up 時，機台已有定位位置但尚未定位時，氣體配管承商需先配置高架地板下方，待 Move in 機台定位後即馬上配管連上機台。5.5. 需購買一台 2 瓶式的氣瓶架供應 He。該氣瓶櫃須具有 auto-switch 和auto-purge 功能，依據氣體壓力、鋼瓶重量及氣體性質自動切換鋼瓶，其採用兩段式，第一段警告，第二段自動切換。控制盤面顯示訊號包含氣體供應狀況、氣瓶重量、壓力顯示、all alarm 及 running status 等功能；控制系統採用可程式化邏輯控制(PLC)，能自動及手動控制並能與氣體偵測系統(Gas Detection System)相

41、容；所有管線銜接應為自動焊接及 VCR gasket Compression Seals；氣瓶架歧管閥件上應有Gasket Filter 及 After Filter；得標商應於現場進行氣瓶架之功能測試，現場測試其氦測漏率應1X10 -9atm-cc/sec。5.6. 承包商需提供氣體站內 SiH4房之防爆照明燈具、室內空調設施(房間尺寸 10x3x4.5 m，溫度控制範圍 1525，氣瓶櫃排氣量需與系統承包商確認)，及該房間之排氣系統。5.7. 廠商須於收到 PO 後一周內派人至 SinoMOS(或陪同 Tools Refurbish人員) 清查 Tools 實際數量及 Tie in 點數量及尺寸，以利實際備料。6. 驗收標準6.1. 外觀檢查：6.1.1. 所有管路是否依照圖面施工，並依照規範清楚貼上管路標示。