第第 十章十章 多晶硅薄膜多晶硅薄膜多晶硅薄膜材料：指在玻璃、陶瓷、廉价硅等低成本衬底多晶硅薄膜材料：指在玻璃、陶瓷、廉价硅等低成本衬底上，通过化学气相沉积等技术，制备成一定厚度的多晶硅上，通过化学气相沉积等技术，制备成一定厚度的多晶硅薄膜。薄膜。根据多晶硅晶粒的大小，部分多晶硅薄膜又可称为根据多晶硅晶粒的大小，部分多晶硅薄膜又可称为微晶硅微晶硅薄膜薄膜（uc-Si，其晶粒大小在，其晶粒大小在10-30nm左右）或左右）或纳米硅纳米硅（nc-Si,其晶粒在其晶粒在10nm左右）薄膜。左右）薄膜。多晶硅薄膜主要分为两类：一类是晶粒较大，完全由多晶硅薄膜主要分为两类：一类是晶粒较大，完全由多晶多晶硅颗粒组成硅颗粒组成；另一类是由；另一类是由部分晶化部分晶化、晶粒细小的多晶硅镶晶粒细小的多晶硅镶嵌在非晶硅中组成嵌在非晶硅中组成。1ppt课件第第 十章十章 多晶硅薄膜多晶硅薄膜多晶硅薄膜主要有两种制备途径：多晶硅薄膜主要有两种制备途径：1）通过化学气相沉积等技术，在一定的衬底材料上直接制）通过化学气相沉积等技术，在一定的衬底材料上直接制备；备；2）首先制备非晶硅薄膜，然后通过固相晶化、激光晶化
