薄膜技术及应用ThinFilmTechnologyandApplications电子科学与应用物理学院微纳功能材料与器件研究室电子科学与应用物理学院微纳功能材料与器件研究室1薄膜材料制备原理、技术及应用薄膜材料制备原理、技术及应用唐伟忠，冶金工业出版社唐伟忠，冶金工业出版社薄膜物理与技术薄膜物理与技术杨邦朝，电子科技大学出版社杨邦朝，电子科技大学出版社薄膜物理与技术薄膜物理与技术陈国平，东南大学出版社陈国平，东南大学出版社参参考考书书23在材料科学的各分支中，薄膜材料科学发展的在材料科学的各分支中，薄膜材料科学发展的地位极为重要地位极为重要。薄膜材料是采用特殊的方法，在体材料的表面薄膜材料是采用特殊的方法，在体材料的表面沉积或制备的一层性质与体材料性质完全不同的物沉积或制备的一层性质与体材料性质完全不同的物质层质层。薄膜材料往往具有特殊的材料性能或性能组合薄膜材料往往具有特殊的材料性能或性能组合。4薄膜材料科学成为材料科学中发展最迅速分支薄膜材料科学成为材料科学中发展最迅速分支的原因：的原因：(1)(1)现代科学技术的发展，特别是微电子现代科学技术的发展，特别是微电子技术的发展，过去需
