显微显微分析技术分析技术显微显微分析分析技术系列讲座技术系列讲座1感知物体形貌的两种方式感知物体形貌的两种方式感知物体形貌的两种方式感知物体形貌的两种方式2波经过波经过波经过波经过透镜，透镜，透镜，透镜，直接成像直接成像直接成像直接成像3光学显微镜光学显微镜(OM)(OM)：（可见光光源）光束光源）光束经经玻璃透镜玻璃透镜放大成像放大成像透射电子显微镜透射电子显微镜(TEM)(TEM)：（电子枪光源）电子束光源）电子束经经电磁透镜电磁透镜放大成像放大成像成像原理的共同特点：光源透过样品，直接放大成像4在在在在样品样品样品样品表面接触，表面接触，表面接触，表面接触，间接成像间接成像间接成像间接成像超高真空变温扫描探针显微镜5扫描隧道显微镜扫描隧道显微镜(STM)(STM)：扫描扫描探针为锐利的探针为锐利的钨丝针尖钨丝针尖原子原子力显微镜力显微镜(AFM)(AFM)：扫扫描描探探针针为为连连接接在在灵灵敏敏的的微微悬悬臂臂上上的的Si Si或或Si Si3N N4材料的材料的锥形针尖锥形针尖成像原理的共同特点：探针在样品表面光栅式扫描，间接成像6扫描电子显微镜扫描电子显微镜(SEM)(SE
