206超纯水工艺 2022/12/21超超纯纯水概述水概述超纯水的定义及标准超纯水是把水中的导电介质几乎完全去除，又把水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于18M.cm或接近18.3M.cm（25）。2022/12/21超纯水制备的工艺方法现在的超纯水制备采用了预处理、电渗析（EDI）紫外线杀菌、反渗透（RO）、离子交换及各种膜过滤技术等。其工艺大体可分为预处理、脱盐、精处理三步。预处理：包括多介质过滤、活性炭过滤，过滤去除水中120m大小的颗粒及除去有机物和自由氯。脱盐：包括离子交换、反渗透（RO）、电渗析（EDI）等方法，去除水中绝大多数离子。如电渗析（EDI）脱盐率可达到95%以上。反渗透（RO）脱盐率可达98%，并能去除99%细菌颗粒和溶解在水中的有机物。精处理：包括抛光树脂、TOC装置、微过滤（0.22m）或超滤等。2022/12/21超纯水常见的工艺流程1.预处理复床混床抛光混床2.预处理反渗透混床抛光混床（206超纯水）3.预处理反渗透电渗析（EDI）抛光混床（103超纯水）用RO反渗透替代离子交换脱盐，进一步除去有机物、胶体、细菌等杂质，并
