半导体芯片制造技术综述课件.ppt

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第二章第二章 多晶半导体的制备多晶半导体的制备 硅是极为常见的一种元素,然而它极少以单质的形式在自然界出现,而是以复杂的硅酸盐或二氧化硅的形式,广泛存在于岩石、砂砾、尘土之中。硅在地壳中是第二丰富的元素,构成地壳总质量的25.7%,占地壳的四分之一,仅次于第一位的氧(49.4%)。第一第一节节 工业硅的生产工业硅的生产一、硅的简介1物理性质 硅包括晶态和无定形两种同素异形体,晶体硅为灰黑色,无定形硅为黑色。晶体硅根据晶面取向不同又分为单晶硅和多晶硅,它们都具有金刚石晶格,硬而有金属光泽,有半导体性质。晶体硅密度2.32-2.34克立方厘米,熔点1410,沸点2355。2 2多晶硅按纯度分类多晶硅按纯度分类 多晶硅按纯度分类可以分为冶金级多晶硅(工多晶硅按纯度分类可以分为冶金级多晶硅(工业硅)、太阳能级多晶硅、电子级多晶硅。业硅)、太阳能级多晶硅、电子级多晶硅。(1 1)冶金级多晶硅()冶金级多晶硅(MGMG)(2 2)太阳能级多晶硅)太阳能级多晶硅 (SG)(SG)(3 3)电子级多晶硅()电子级多晶硅(EGEG)二、工业硅的制备1工业硅的生产原理SiO2+C Si+CO2工业硅的生产

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