等离子体物理及其应用课件.ppt

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等离子体物理与应用目录(一)一)引言:等离子体基本概念与状态引言:等离子体基本概念与状态(二)(二)单粒子运动单粒子运动(三)等离子体中的反应(三)等离子体中的反应(四)低温等离子体的发生(四)低温等离子体的发生(五)等离子体诊断(五)等离子体诊断(六)低温等离子体与成膜(六)低温等离子体与成膜(七)等离子体(七)等离子体CVDCVD与等离子体聚合与等离子体聚合(八)低温等离子体表面改性(八)低温等离子体表面改性主要参考书籍:主要参考书籍:等离子体物理导论,刘万东,中国科学技术等离子体物理导论,刘万东,中国科学技术大学大学等离子体与成膜基础,小沼光晴,德国马普等离子体与成膜基础,小沼光晴,德国马普固体研究所固体研究所(一)等离子体简介一.什么是等离子体二.等离子体学科三.实验室等离子体四.高温等离子体五.低温等离子体一.什么是等离子体1.1.物质第四态2.2.等离子体产生3.3.带电粒子在电磁场中的运动带电粒子在电磁场中的运动4.等离子体的准中性和表征参数5.5.平均自由程和碰撞频率6.6.等离子体鞘层7.7.等离子体的整体特性1.物质第四态在自然界,物质有四态:固态、液态、气态和等离

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