如如如如图图图图是是是是压压压压电电电电式式式式单单单单向向向向测测测测力力力力传传传传感感感感器器器器的的的的结结结结构构构构图图图图，主主主主要要要要由由由由石石石石英晶片、绝缘套、电极、上盖及基座等组成。英晶片、绝缘套、电极、上盖及基座等组成。英晶片、绝缘套、电极、上盖及基座等组成。英晶片、绝缘套、电极、上盖及基座等组成。图图1 压力式单向测力传感器结构图压力式单向测力传感器结构图 压电式传感器的应用压电式传感器的应用压电式传感器的应用压电式传感器的应用 传传感感器器上上盖盖为为传传力力元元件件，它它的的外外缘缘壁壁厚厚为为0.10.5mm0.10.5mm，外外力力作作用用使使它它产产生生弹弹性性变变形形，将将力力传传递递到到石石英英晶晶片片上上。石石英英晶晶片片采采用用xyxy切切型型，利利用用其其纵纵向向压电效应，压电效应，通过通过d d1111实现力实现力电转换。电转换。下下图图是是一一种种压压电电式式加加速速度度传传感感器器的的结结构构图图。它它主主要要由由压压电电元元件件、质质量量块块、预预压压弹弹簧簧、基基座座及及外外壳壳等等组组成成。整个部件装在外壳内，并由螺栓加
