1 集成电路制造技术集成电路制造技术原理与工艺原理与工艺2教材与参考书、考核教材与参考书、考核n教材：教材：王蔚王蔚 微电子制造技术微电子制造技术-原理与工艺原理与工艺（修订版）电子工业出版社（修订版）电子工业出版社 20132013n参考书：参考书：关旭东关旭东 硅集成电路工艺基础硅集成电路工艺基础北京大北京大学出版学出版 20032003n清华大学清华大学集成电路工艺集成电路工艺多媒体教学课件多媒体教学课件 20012001nStephen A.C.Stephen A.C.微电子制造科学原理与工程技术微电子制造科学原理与工程技术电子工业出版社，电子工业出版社，20032003n考核方式：考核方式：考勤考勤20+20+作业作业10+10+考试（闭卷）考试（闭卷）7070第第0 0章章 绪论绪论n1.1.引言引言n2 2、集成电路的历史、集成电路的历史n3.3.何为集成电路何为集成电路 n4.4.微电子工艺特点与基本工艺流程微电子工艺特点与基本工艺流程 41 1、为什么要学习本课程？、为什么要学习本课程？2 2、本课程内容结构？、本课程内容结构？3 3、本课程学习目的？、本课程学习目的
