第14章气体传感器 .14 气气 体体 传传 感感 器器 14.1 概述概述 气气体体传传感感器器是是将将被被测测气气体体浓浓度度转转换换为为与与其其一一定定关关系系的的电电量量输出的装置或器件。输出的装置或器件。气体传感器是用来检测气体类别、浓度和成分的传感器。气体传感器是用来检测气体类别、浓度和成分的传感器。由由于于气气体体种种类类繁繁多多,性性质质各各不不相相同同,不不可可能能用用一一种种传传感感器器检检测测所所有有类类别别的的气气体体,按按构构成成气气体体传传感感器器材材料料可可分分为为半半导导体体和和非非半导体两大类。目前实际使用最多的是半导体两大类。目前实际使用最多的是半导体气体传感器。半导体气体传感器。.半半导导体体气气体体传传感感器器是是利利用用待待测测气气体体与与半半导导体体表表面面接接触时,触时,产生的电导率等物理性质变化产生的电导率等物理性质变化来检测气体的。来检测气体的。n按按照照半半导导体体与与气气体体相相互互作作用用时时产产生生的的变变化化只只限限于于半半导导体体表表面面或或深深入入到到半半导导体体内内部部,可可分分为为表表面面控控制制型型和和体体控控制型。