第第3章章 电容式传感器电容式传感器 科学技术的不断发展极大地丰富了各类传感器，以压力测量为例，现今常用的测量压力的传感器，有电容式、压阻式、金属应变式、霍尔式、振筒式等，电容式、压阻式、压电式、压磁式，能将多种信息转化为电信号。电容结构简单，性能可靠，成本低廉，容易实现参数改变，可广泛应用于各类物理量的测试。电容式传感器是以可变参数电容器作为传感元件，待被测非电量转换为电容量变化，进而转换为电信号输出的装置。电容测量技术在近几年来有了很大进展，它不但广泛用于位移、振动、加速度、角度、力、压力、物料、介质特性等多方面量的精密测量，而且还逐步地扩大应用于压差、液面、料面、成分含量等方面的测量。式中，A为极板面积；d为极板间的距离；为极板间介质的相对介电常数；为真空介电常数，=8.85 F/m；为极板间介质的介电常数。3.1 电容式传感器的工作原理及结构形式电容式传感器的工作原理及结构形式为了便于研究和应用，先从电容式传感器结构原理最简单的、应用最多的平板电容式传感器来进行研究。平板电容式传感器的基本工作原理可以用图3-1所示的平板电容器来说明。图3-1 平板电容器当忽略边缘效应时，平板电
