第九章第九章 气、湿敏传感器气、湿敏传感器第一节第一节 半导体气敏传感器半导体气敏传感器第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器第三节第三节 气、湿敏传感器应用举例气、湿敏传感器应用举例第一节第一节 半导体气敏传感器半导体气敏传感器 半导体气敏传感器半导体气敏传感器是利用半导体气敏元件同气体是利用半导体气敏元件同气体接触，造成半导体性质变化，借此来检测特定气接触，造成半导体性质变化，借此来检测特定气体的成分或者测量其浓度的传感器的总称。体的成分或者测量其浓度的传感器的总称。早在早在20世纪世纪30年代就已经发现氧化亚铜的导电率年代就已经发现氧化亚铜的导电率随水蒸气的吸附而发生改变。其后又发现许多其随水蒸气的吸附而发生改变。其后又发现许多其它金属氧化物也都具有气敏效应。这些金属氧化它金属氧化物也都具有气敏效应。这些金属氧化物都是利用陶瓷工艺制成的具有半导体特性的材物都是利用陶瓷工艺制成的具有半导体特性的材料，因此称之谓半导体陶瓷，简称半导瓷。由于料，因此称之谓半导体陶瓷，简称半导瓷。由于半导瓷与半导体单晶相比具有工艺简单、价格低半导瓷与半导体单晶相比具有工艺简单、价格低廉等优点，因此已经用它制
