半导体表面半导体表面绪论绪论吴振宇吴振宇西安电子科技大学微电子学院西安电子科技大学微电子学院半导体表面的定义半导体表面的定义什么是表面？什么是表面？密切接触的两相之间的过渡区（约几个分子的厚度）称为界面，如果其中一相为气体，这种界面通常称为表面。从结晶学和固体物理学考虑，表面是指晶体三维周期结构同真空之间的过渡区，它包括不具备三维结构特征的最外原子层。键合在固体最外面的原子层。（Honig）固体外表约1到10个单原子层。（Vickerman）半导体表面的定义半导体表面的定义从实用技术学科，表面是指结构、物性与体相不相同的整个表面层，在不同学科领域而有不同尺度范围的划分。半导体表面：纳米到微米尺度的表面层。半导体器件有67种，110余变种。由以下结构单元组成：p-n结；金属-半导体结；MIS(MOS);异质结。（Complete Guide to Semiconductor Device,1995）半导体器件：形成某种半导体表面，利用并控制该半导体表面的某种特殊性质，从而获得所需的特殊电学特性。教学内容教学内容主要包括金属半导体接触、半导体表面及MIS结构、异质结等三个部分的内容。分别
