半导体制程简介-课件.ppt

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半导体制程简介半导体制程简介芯片是如何制作出来的芯片是如何制作出来的基本过程基本过程晶园制作Wafer Creation芯片制作Chip Creation后封装Chip Packaging第1部分晶园制作1.1 多晶生成Poly Silicon Creation 1目前半导体制程所使用的主要原料就是晶园(Wafer),它的主要成分为硅(Si)。富含硅的物质非常普遍,就是沙子(Sand),它的主要成分为二氧化硅(SiO2)。沙子经过初步的提炼,获得具有一定纯度的硅,再经过一些步骤提高硅的纯度,半导体制程所使用的硅需要非常高的纯度。接着就是生成多晶硅(Poly Silicon)。Poly Silicon Creation 2采用一种叫做Trichlorosilane的物质(SiHCl3)作为溶剂,氢气作为反应环境,在钽(tantalum)电热探针指引下,经过初步提炼的硅形成晶体。这种过程需要多次,中途还会用到氢氟酸(HF)这样剧毒的化学药品,硅的纯度也随着这个过程而进一步被提高。最后生成多晶硅的硅锭。Poly Silicon Creation 31.2 单晶制作Crystal Pullin

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