制程控制系统设计制程控制系统设计设计处教育训练资料Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2006Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2006制程控制系统设计制程控制系统设计大纲大纲大纲大纲n 制程控制系统概述n CDA控制系统n GN2控制系统n PCW控制系统n PV控制系统Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2006制程控制系统设计制程控制系统设计制程控制系统制程控制系统制程控制系统制程控制系统 概述 无尘室制程系统主要包含:CDA系统、GN2系统、PCW系统、PV系统;制程控制系统就是对每一个系统进行自动控制。Confid