原子力显微镜及其实验原子力显微镜及其实验（AFM）浙江大学浙江大学 理学院理学院 物理系物理系陈老师 严老师 1 宇宙直径宇宙直径 nm 1.1 背景简介背景简介从宏观尺度到纳米世界从宏观尺度到纳米世界10 352 成人身高成人身高 1025 亿亿 nm 3 头头发丝直径发丝直径 70,000 nm 血红细胞直径血红细胞直径 8,000 nm 可见光波长可见光波长 380780 nm 集成电路线宽集成电路线宽 130 nm 氢原子直径氢原子直径 0.10 nm0.1 100 nm?换算成纳米尺度 半导体集成芯片半导体集成芯片线宽线宽已达到已达到极限！极限！纳米技术纳米技术4 18世纪，世纪，第第1次产业革命（毫米技术）次产业革命（毫米技术）20世纪，世纪，第第2次产业革命（微米技术）次产业革命（微米技术）21世纪，世纪，第第3次产业革命（纳米技术）次产业革命（纳米技术）蒸气机技术蒸气机技术微电子技术微电子技术纳纳 米米 技技 术术纳米技术纳米技术下一次下一次产业革命浪潮产业革命浪潮5纳米纳米物理学物理学纳米纳米技术技术纳米纳米化学化学纳米纳米材料学材料学纳米纳米生物学生物学纳米纳米电子
