等离子体的基本概念等离子体的基本概念 低温等离子体的产生方式低温等离子体的产生方式 低温低温等离子体处理废气的作用机理等离子体处理废气的作用机理 低温等离子体处理技术低温等离子体处理技术 4123目录一、等离子体的基本概念及产生方式一、等离子体的基本概念及产生方式 等离子体概念等离子体概念 由大量的带电的正粒子、负粒子（其中包括正离由大量的带电的正粒子、负粒子（其中包括正离子、负离子、电子、自由基和各种活性基团等）组成子、负离子、电子、自由基和各种活性基团等）组成的集合体，其中正电荷和负电荷电量相等，故称等离的集合体，其中正电荷和负电荷电量相等，故称等离子体。子体。低温等离子体又名非平衡等离子体，其内部的电子温度远远高于离子温度（电子温度可达104K，而离子温度一般只有300K500K），系统处于热力学非平衡态，其表观温度较低，所以被称为低温等离子体。等离子体是物质第四态固体 冰液体 水气体 水汽等离子体 电离气体温度00C1000C100000C电离气体是一种常见的等离子体放电是使气体转变成等离子体的一种常见形式等离子体 电离气体普通气体普通气体等离子体等离子体放电放电需要有足够的电
