内层开路、缺口改善内层开路、缺口改善目目 录录(二二二二)、相关相关相关相关改善措施改善措施改善措施改善措施(四四四四)、内层板内层板内层板内层板开路、缺口现状分析开路、缺口现状分析开路、缺口现状分析开路、缺口现状分析(五五五五)、改善方案(改善方案(改善方案(改善方案(1 1):):):):洁净度的整改洁净度的整改洁净度的整改洁净度的整改(六六六六)、改善方案(改善方案(改善方案(改善方案(2 2):):):):曝光杂物的整改曝光杂物的整改曝光杂物的整改曝光杂物的整改(一一一一)、改善前后的效果改善前后的效果改善前后的效果改善前后的效果(三三三三)、生产流程分析找出重点改善工序生产流程分析找出重点改善工序生产流程分析找出重点改善工序生产流程分析找出重点改善工序(七七七七)、改善方案(改善方案(改善方案(改善方案(3 3):):):):膜下杂物的整改膜下杂物的整改膜下杂物的整改膜下杂物的整改(二二)改善措施改善措施n干膜房的清洁度的提升,每班次对地面、机台进行全面清洁,将干膜房的洁净度控制在5万级以下;n内层过期干膜和开封超过5天或以上的干膜例用时,曝光人员在曝光前检查面板是否有胶点,