却塔之节水策略研究却塔之节水策略研究 在高科技电子产业包括晶圆代工，IC半导体产业，TFT-LCD等产业厂中用水大小除了取决于制程产及产能用率之外，在公用空调系统中占全厂用水的5%20%，主要耗水点则在SCRUBBER及COOLING TOWER水损失补水上，因此空调用水为电子厂业之主要节水潜。前言AUO Proprietary&Confidential简介 1.却水塔简介探讨 2.水塔耗水分析 3.却水塔节水方法 4.实际案例比较 5.结与建议 却却 水水 塔塔 简简 介介 探探 讨讨却水塔原理却水塔是将系统所热交换后回之高温却水，经由分配管喷嘴洒在鳍片(FIN)表面上，同时与风扇(FAN)所产生的强制对空气相互接触，此时，热水与空气之间即产生显热热交换作用。少部份的热水被蒸发成气态水蒸气，而吸收蒸发潜热再低却水之温而形成低温之却水回至系统。然而，大部分却塔中，皆有一或多个旋桨或心式风扇使空气铅直或水平地通过却塔，而以喷嘴喷水或使水沿却塔由一阻板向下洒到另一阻板，即造成很大的水面积。却水塔却后之低温(32)却水却水泵浦配管至各制程系统显热之热交换(高温却水)回至却水塔之分配管/喷嘴形
