薄膜材料与技术薄膜材料与技术邹友生邹友生 15996294651 2014.2-2014.4办公室：办公室：339栋栋411室室0 绪论绪论v薄膜的应用薄膜的应用v薄膜的定义薄膜的定义v薄膜的特性及分类薄膜的特性及分类v薄膜材料与薄膜技术研究内容薄膜材料与薄膜技术研究内容能源、材料、信息科学技术是新技术革命的先导和支柱。作为特殊形态材料的薄薄膜膜，已经成为微电子学、光电子学、磁电子学、机械加工工具、传感器、太阳能利用等新兴交叉学科的材料基础，并渗透到当代科技和国民经济的的各个领域，如航空航天、交通、医疗、通信和信息等。（1）薄膜的应用）薄膜的应用多种类多种类高性能高性能新工艺新工艺A:A:信息社会中，信息采集、处理和网络设备需要大量的电子元器件、电子回路、集成电路等。薄膜技术是制作它们的基础薄膜技术是制作它们的基础B:B:21世纪进入了以PDP，LCD为代表的平板显示器时代。以PDP为例，制作的关键是在对角线1m以上大尺寸玻璃板表面形成数以百万计的放电胞。放电胞的节距一般为200400微米，胞间障壁宽度为50微米，高150微米。汇流电极由透明导电膜做成，选址电极由Ag膜等做成。为保证电
