EE141 Digital Integrated Circuits2ndWires1数字集成电路数字集成电路第四讲第四讲 导线导线EE141 Digital Integrated Circuits2ndWires2简介简介q在集成电路发展的大部分时间里，芯片在集成电路发展的大部分时间里，芯片上的互连线的影响在设计中被忽略。上的互连线的影响在设计中被忽略。q随着工艺的发展，在深亚微米随着工艺的发展，在深亚微米/超深亚微超深亚微米，导线引起的寄生效应对电路性能的米，导线引起的寄生效应对电路性能的影响越来越大。速度、能耗和可靠影响越来越大。速度、能耗和可靠性等性等q仔细分析半导体工艺中互连线的作用和仔细分析半导体工艺中互连线的作用和特性对于数字集成电路设计极为重要。特性对于数字集成电路设计极为重要。EE141 Digital Integrated Circuits2ndWires3在集成电路中构成导线的因素在集成电路中构成导线的因素q金属：铝、铜金属：铝、铜q多晶硅多晶硅q实现源区和漏区的重掺杂实现源区和漏区的重掺杂n和和p扩散层扩散层EE141 Digital Integrated Cir
