微传感器与微传感器与MEMS技术技术Micro-sensors and MEMS technologyAgenda微机电技术、微机电系统微机电技术、微机电系统MEMS的发展的发展MEMS的应用的应用MEMS所用材料所用材料微加工工艺微加工工艺微传感器与微机电系统微传感器与微机电系统微机电技术MEMS技术是以微电子、微机械与材料科学为基础，研究、设计、制造具有特定功能的微型装置的一门科学。传统的机械系统原动部分原动部分提供动力源传动部分传动部分负责把动力传给工作部分工作部分工作部分完成预期动作或预期轨迹控制部分控制部分如数控机床的控制电路理想的微机电系统微机电系统定义：定义：微机电系统微机电系统(micro-elelctro-mechanical system,MEMS)是指采用微机械加工技术可以批量制作的，集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通信等模块于一体（一般为硅基底材料）的微型器件或微型系统。微机电系统美国：美国：微机电系统微机电系统欧洲：微系统欧洲：微系统日本：微型机械日本：微型机械中国：微机电系统中国：微机电系统微机电系统的尺寸微电子与微型机械的区
