等离子体产生技术1 等离子体的生成方法直流放电交流放电直流辉光放电直流辉光放电空心阴阴放电空心阴阴放电直流脉冲放电直流脉冲放电电弧放电电弧放电磁控管放电磁控管放电电容耦合放电电容耦合放电感应耦合放电感应耦合放电介质阻挡放电介质阻挡放电微波放电微波放电表面波放电表面波放电本讲安排等离子体的生成方法交流放电电容耦合放电电容耦合放电感应耦合放电感应耦合放电为什么选择交流放电？直流放电存在的问题电极材料损伤存在电弧放电等离子体密度不易调节工业等离子体应用时等离子体的参数要求温度低密度高覆盖面大为什么选择交流放电？高频放电或微波放电方法的优点可保持较低的等离子体电极间电位差有利于提高功率，并提高电子的能量吸收效率使低气压下产生高密度等离子体成为可能常见的低温等离子体放电装置常见的低温等离子体放电装置 静电耦合主要利用静电场成份来加速电子，又称电容耦合放电 感应耦合利用感应电场成份，无外加磁场时产生感应耦合放电，有外加磁场时螺旋波放电 电磁波耦合利用电磁波成份为等离子体提供能量，无外加磁场时耦合方式为表面波放电，有外加磁场时可以产生电子回旋共振(ECR)放电几个相关的概念低频10000Hz射频30
