等离子体化学与工艺等离子体化学与工艺概述概述 一.等离子体发展历程：1745年莱顿瓶：最原始的电容器。用于储积大量电荷并获得高的静电电位。1750年本杰明富兰克林证实了电的单流体理论。并同时证实了闪电是电的一种形式，并引入了正负极的概念。他发明了避雷针，因而避免了许多财富和人命的不必要的损失。1808年法拉第在放电和直流放电管的工作状况的研究。1906年劳伦兹提出了“电子”术语。在1898年WilliamErookes引入“电离”，用来描述中性原子被击碎形成电子和离子。基于真空系统的发展：基于真空系统的发展：1862年真空泵（10-3Torr）的发明。1905年水银旋转泵（10-5Torr）(1atm=760Torr=101325Pa)。1928年等离子体的定义和研究（汤姆斯和朗缪尔）。1929年德拜长度（描述等离子体的存在条件）。1935年旋转油力泵。1955年油扩散泵。1965年涡轮分子泵。由于真空系统的发展和能量的给予方式的不断进步，目前等离子体应用极广。二二.等离子体的定义：等离子体的定义：指电离气体。是由电子离子原子分子和自由基等粒子组成的集合体。其中电子和离子数相等，对外表
