电子探针显微分析电子探针显微分析 电子探针电子探针(Electron Probe Micro Analysis)：用焦斑很小的电子束用焦斑很小的电子束(形象地喻为探针形象地喻为探针)作为激发源来作为激发源来激发被测样品的表面，激发样品中的各元素，产生特激发被测样品的表面，激发样品中的各元素，产生特征征X射线，用波谱仪射线，用波谱仪(WDS)或能谱仪或能谱仪(EDS)测量测量X射线射线的波长或能量从而对样品上的微区进行定性或定量分的波长或能量从而对样品上的微区进行定性或定量分析。析。电子探针仪的种类很多，有电子探针电子探针仪的种类很多，有电子探针X射线分析射线分析仪、电子探针显微分析仪、电子显微探针、仪、电子探针显微分析仪、电子显微探针、X射线显射线显微分析仪等。微分析仪等。电子探针的原理与扫描电镜基本相同，电子探针的原理与扫描电镜基本相同，所不同的是检测器部分使用的是所不同的是检测器部分使用的是X X射线谱仪，射线谱仪，专门用来检测专门用来检测X X射线的特征波长或特征能量，射线的特征波长或特征能量，以此来对微区的化学成分进行分析。以此来对微区的化学成分进行分析。两种类型：两种类型：波
