1 16.3 闭环及半闭环进给伺服系统动6.3.1 6.3.1 6.3.1 6.3.1 闭环进给伺服系统的组成及工作原理闭环进给伺服系统的组成及工作原理闭环进给伺服系统的组成及工作原理闭环进给伺服系统的组成及工作原理这是一个双闭环系统，内环是速度环，外环是位置环。这是一个双闭环系统，内环是速度环，外环是位置环。这是一个双闭环系统，内环是速度环，外环是位置环。这是一个双闭环系统，内环是速度环，外环是位置环。1 1 1 1闭环进给伺服系统的组成闭环进给伺服系统的组成闭环进给伺服系统的组成闭环进给伺服系统的组成 2 26.3 闭环及半闭环进给伺服系统动6.3.1 6.3.1 6.3.1 6.3.1 闭环进给伺服系统的组成及工作原理闭环进给伺服系统的组成及工作原理闭环进给伺服系统的组成及工作原理闭环进给伺服系统的组成及工作原理 由由由由CNCCNCCNCCNC插补得到的指令进给位移量插补得到的指令进给位移量插补得到的指令进给位移量插补得到的指令进给位移量F F F F与位置检测反馈的机床移与位置检测反馈的机床移与位置检测反馈的机床移与位置检测反馈的机床移动部件（如工作台）实际位移量动部件（如工
