第三章薄膜的形成与生长薄膜的结构和性能的差异与薄膜形成过程的许多因素密切薄膜的结构和性能的差异与薄膜形成过程的许多因素密切相关。相关。本章主要以真空蒸发镀膜为例进行讨论本章主要以真空蒸发镀膜为例进行讨论薄膜的制备方法有许多种类，其形成机理各不相同，但在薄膜的制备方法有许多种类，其形成机理各不相同，但在许多方面，还是具有共同特点。许多方面，还是具有共同特点。薄膜的形成过程薄膜的形成过程一般分为：一般分为：凝结过程、核形成与生长过程、岛形成与结合生长过程凝结过程、核形成与生长过程、岛形成与结合生长过程3.1凝结过程凝结过程3.2 核形成与生长核形成与生长生长过程生长过程3.3 薄膜的形成薄膜的形成过程与过程与生长模式生长模式3.1凝结过程凝结过程凝结过程是从蒸发源中被蒸发的气相原子、离子或分子入射到基体是从蒸发源中被蒸发的气相原子、离子或分子入射到基体表面之后，从气相到吸附相，再到凝结相的一个相变过程表面之后，从气相到吸附相，再到凝结相的一个相变过程.一、一、吸附过程吸附过程二、二、表面扩散运动表面扩散运动三、三、凝结过程凝结过程一个气相原子入射到基体表面上，能否被吸附，是非常一个气相原子
