ECVECV测试测试原理原理及相关分析及相关分析工艺部工艺部 王永伟王永伟 ECVECV测试原理测试原理内内 容容 简简 介介 ECV ECV背景介绍背景介绍 ECVECV测试常见问题及分析测试常见问题及分析 ECVECV测试曲线的理解测试曲线的理解第一部分第一部分ECVECV背景介绍背景介绍ECVECV背景介绍背景介绍对于半导体器件的设计和制造而言，器件中载流子浓度、掺杂厚度以对于半导体器件的设计和制造而言，器件中载流子浓度、掺杂厚度以及杂质分布都是必须严格控制的参数，就要求对载流子的浓度及分布及杂质分布都是必须严格控制的参数，就要求对载流子的浓度及分布有更精确可靠的测量。目前，业界已有几种表征杂质浓度分布的方法，有更精确可靠的测量。目前，业界已有几种表征杂质浓度分布的方法，如扩展电阻法、电容如扩展电阻法、电容-电压法电压法(C-V)(C-V)、二次离子质谱、二次离子质谱 (SIMS)(SIMS)、微分霍、微分霍耳法、电化学电容耳法、电化学电容-电压法电压法(ECV)(ECV)等。这些技术各有其自身的优缺点。等。这些技术各有其自身的优缺点。传统的传统的C-VC-V法尽管实验方法简单，
