上海宏力半导体制造有限公司上海宏力半导体制造有限公司Grace Semiconductor Manufacturing Corporation1 ConfidentialMOSFET Basic Characterization(MOS晶体管基本特性表征晶体管基本特性表征)Wenyu Gao2008/04/18上海宏力半导体制造有限公司上海宏力半导体制造有限公司Grace Semiconductor Manufacturing Corporation2 Confidential1.MOSFET的的特性曲线特性曲线与与特征参数特征参数2.短沟效应短沟效应(SCE&RSCE)3.窄沟效应窄沟效应(NWE&RNWE)与与STI寄生晶体管寄生晶体管上海宏力半导体制造有限公司上海宏力半导体制造有限公司Grace Semiconductor Manufacturing Corporation3 ConfidentialC-V 特性曲线特性曲线1.N-type,P-type;majority-carrier(多多子子),minority-carrier(少子少子).2.Accumulation(积累
