成都工业学院成都工业学院 微电子专业微电子专业 10241 07 10241 07 王倩王倩 第一章 概论 1.1 简介 1.2 工艺方法 1.2.1 超声焊接 1.2.2 热压焊接 1.2.3 热声焊接 1.3 特点第二章 线材 2.1 纯金属 2.1.1 金丝 2.1.2 铝丝 2.1.3 铜丝 2.2 金属冶金系 2.2.1 Au-Au系 2.2.2 Au-Al 系 2.2.3 Au-Cu系 2.2.4 Au-Ag 系 2.2.5 Al-Al 系 2.2.6 Al-Ag 系 2.2.7 Al-Ni 系 2.2.8 Cu-Al 系 2.3 材料选择 2.3.1 引线 2.3.2 焊盘材料 2.4 选材要求 3.3 键合工具 3.3.1 楔形劈刀 3.3.2 毛细管劈刀 3.4 键合点设计 3.4.1 输入因素3.5 键合参数3.6 键合评价3.7 细间距能力比较3.8 弧度走线方向第三章 键合 3.1 键合方式 3.1.1 球形键合 3.1.2 楔形键合 3.1.3 比较 3.2 键合设备第四章 失效 4.1 键合失效 4.1.1 焊盘清洁度 4.1.1.1 卤化物 4.1.1.2
