1精密与超精密与超精密加工精密加工2第一节 概述u精密加工精密加工-加工公差为10.00.1m，表面粗糙度Ra0.300.03m的加工精密加工微细加工 微小尺寸的精密加工 超微细加工 微小尺寸的超精密加工 在高精度加工范围内，根据加工精度水平的不同，可进一步划分为精密加工、超精密加工和纳米加工三个档次。u纳米加工纳米加工-加工公差小于0.01m、表面粗糙度Ra小于0.005m的加工称为纳米加工。u超精密加工超精密加工-加工公差为0.10.01m、表面粗糙度Ra0.030.005m的加工超精密加工；3 零件 加 工 精 度 表面粗糙度 激光光学零件 形状误差 0.1m Ra 0.010.05m 多面镜 平面度误差 0.04m Ra 0.02m 磁头 平面度误差 0.04m Ra 0.02m 磁盘 波度 0.01 0.02m Ra 0.02m 雷达导波管 平面度垂直度误差 0.1m Ra 0.02m 卫星仪表轴承 圆柱度误差 0.01m Ra 0.002m 天体望远镜 形状误差 0.03m Ra 0.01m 几种典型精密零件的加工精度 几种典型精密零件的加工精度几种典型精密零件的加工精度4
