高等半导体物理与器件高等半导体物理与器件0高等半导体物理高等半导体物理与器件与器件第十章第十章 金属金属-氧化物氧化物-半导体场效应晶体管基础半导体场效应晶体管基础第十章第十章 金属金属-氧化物氧化物-半导体场效应晶体管基础半导体场效应晶体管基础高等半导体物理与器件高等半导体物理与器件1主要内容主要内容双端双端MOS结构构电容容-电压特性特性MOSFET基本工作原理基本工作原理频率限制特性率限制特性小小结第十章第十章 金属金属-氧化物氧化物-半导体场效应晶体管基础半导体场效应晶体管基础高等半导体物理与器件高等半导体物理与器件210.1 双端双端MOS结构构MOSFET的核心的核心为一个称一个称为MOS电容的容的金属金属-氧化物氧化物-半半导体体结构构金属可是铝或其他金属，金属可是铝或其他金属，更为通用的是多晶硅更为通用的是多晶硅图中图中tox是氧化层厚度，是氧化层厚度，ox是氧化层介电常数是氧化层介电常数基本基本MOS电容结构电容结构第十章第十章 金属金属-氧化物氧化物-半导体场效应晶体管基础半导体场效应晶体管基础高等半导体物理与器件高等半导体物理与器件3（1）能带图）能带图借助平行板
