1大家好洁净室知识培训洁净室知识培训洁净间基础知识25洁净室及洁净区洁净度等级26洁净室管理四大原则29洁净室(Clean Room)内的注意事项54目录洁净室的用途1洁净室的用途洁净室的用途洁净室洁净室CleanroomCleanroom:空气悬浮粒子浓度空气悬浮粒子浓度受控的房间。它受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生滞留粒子。室内的建造和使用应减少室内诱入、产生滞留粒子。室内其它有关参数如其它有关参数如温度温度、湿度湿度、压力压力等按要求进行控制。等按要求进行控制。摘自GB50073-2001洁净厂房设计规范由于半导体工业所制作的集成电路元件尺寸越来越小，在一块小小的芯片上，整合了许许多多的元器件，因此在制造的过程中就必须防止外界杂质污染源(包括尘埃、金属离子、各类有机物等)，因为这些污染源可以造成元器件性能的劣化及产品成品率和可靠性的降低。所以制造集成电路必须在洁净的环境中进行，以尽量将污染源和硅片隔离。背景背景什么是洁净室？什么是洁净室？1,00010,000 外大气层外大气层 大气层大气层 田园地带田园地带街市区街市区10,000,0001,000,000100,
