特气系统控制特气系统控制20052005年年年年9 9月月月月2020日日日日 特气系统控制特气系统控制特气系统控制特气系统控制 气柜气柜VMB/VMPPLC盘面盘面电磁阀电磁阀气动阀气动阀GAS CYLINDERSENSORS易燃易爆：易燃易爆：SIH4/H4/B2H6/ASH3/PH3无毒：无毒：AR/HE/CF4/N2O/C2F6/SF6/O2-HE有毒：有毒：CL2/HBR/NH3/NF3/SIH2CL2/BCL3设备设备LAM易燃易爆：易燃易爆：SIH4/H4/B2H6/ASH3/PH3有毒：有毒：CL2/HBR/NH3/NF3/SIH2CL2/BCL3无毒：无毒：AR/HE/CF4/N2O/C2F6/SF6/O2-HEAMEMTCPMAMS101MRCCVDAPWJDFUREPSLIMP气柜气柜组成组成:1.电控电控2.COMPUTER3.GAS PANEL1.1.电气控制电气控制电气控制电气控制STATUS LEDS LOCAL SDSTATUS LEDS LOCAL SDRED,YELLOY,GREEN SWITCHRED,YELLOY,GREEN SWITCH 电磁阀
