氦质谱检漏仪 原理、使用方法及相关介绍 1内容真空检漏技术氦质谱检漏仪的主要构成及作用真空学简介泵的工作原理质谱管结构及其工作原理氦质谱检漏仪的使用方法及注意事项2真空检漏技术真空检漏技术就是用适当的方法判断真系统容器或器件是否漏气确定漏孔位及漏率大小的一门技术相应的仪器称为检漏仪。在真空系统容器器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性探查漏孔的位置以便采取措施将漏孔封闭从而使系统容器器件中的真空状态得以维持。3什么是漏及检漏的标准 真空系统容器或器件的器壁因材料本身缺陷或焊缝连接处存在孔洞裂纹或间隙等缺陷外部大气通过这些缺陷进入系统內部致使系统容器或器件达不到预期的真空度这种现象称为漏气。造成漏气的缺陷称为漏孔。漏孔尺寸微小形状复杂无法用几何尺寸表示因此在真空技术中用漏率来表示漏孔的大小。漏率是指单位时间內漏入系统的气体量。用漏率表示漏孔大小时，如果不加特殊说明，则是指在漏孔入口压力为1.01105Pa，出口压力低于1.33103Pa，温度为296士3K的标准条件下，单位时间内流过漏孔的露点温度低于248K的空气的气体量。漏率的单位是Pam3/s（帕斯卡立方米秒）4压强和漏
