壓電驅動超精密定位平台 指導教授:黃世疇 教授 學 生:陳浴祥國 立 高 雄 用 應 科 技 大 學精密定位的等級精密定位是0.11m的精度 超精密定位是0.0010.1m的精度背景早期:顯微鏡(STM,AFM,)近期:高科技產業(半導體、光電、精密量測檥器)本文是設計一個單層的撓性結構，完成能夠做XYz三自由度的精密定位平台。利用撓性鉸鏈為基礎的撓性結構配合積層式壓電致動器，通入電壓的大小使壓電材伸縮，以達到施力的目的，驅使結構產生精密微小變形(也就是材料的滑移現 象)，進而到達奈米級的5nm位移解析度。致動器種類 振幅 精度 發生力 響應速度 壓電致動器 0.1 0.01m 3kg/mm2 0.1 ms 電磁致動器 1 0.1m 30kg 1 ms 油壓缸 1000 10m 10kg/mm2 1 s 空氣壓缸 100 100m 10-2kg/mm2 10 s 壓電致動器(PZT)的優點具有奈米級的解析度，響應頻寬可達到千赫等級，它擁有耗電量少、無雜訊、體積小、反應快、發熱少、精密度佳、轉換效率高和控制容易以及有足夠的剛性、系統結構簡單、無電磁干擾、等多方面的優點。更高精密度更高精密
