扫描电子显微镜第三章 扫描电子显微镜1.扫描电镜的优点2.电子束与固体样品作用时产生的信号3.扫描电镜的工作原理4.扫描电镜的构造5.扫描电镜衬度像 二次电子像 背散射电子像6.扫描电镜的主要性能7.样品制备8.应用举例1.扫描电镜的优点l高的分辨率。由于超高真空技术的发展，场发射电子枪的应用得到普及，现代先进的扫描电镜的分辨率已经达到1纳米左右。l有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调；l有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构l试样制备简单。l配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析。Optical Microscope VS SEM2.电子束与固体样品作用时产生的信号l2.1 弹性散射和非弹性散射弹性散射和非弹性散射l2.2 电子显微镜常用的信号电子显微镜常用的信号l2.3 各种信号的深度和区域大小各种信号的深度和区域大小2.1 弹性散射和非弹性散射弹性散射和非弹性散射当一束聚焦电子束沿一定方向入射到试样内时，由于受到固体物质中晶格位场和原子库仑场的作用，其入射方向会发生改变，这种现象称为散射。l（1）弹
