第二章第二章 气体放电和低温气体放电和低温等离子体等离子体第二章第二章 气体放电和低温等离子体气体放电和低温等离子体q 带电粒子在电磁场中的运动带电粒子在电磁场中的运动q 气体原子的电离和激发气体原子的电离和激发q 气体放电发展过程气体放电发展过程q 低温等离子体概述低温等离子体概述q低温等离子体的产生辉光放电低温等离子体的产生辉光放电q 弧光放电弧光放电q 高频放电高频放电q 低压力高密度等离子体放电低压力高密度等离子体放电2.1带电粒子在电磁场中的运动带电粒子在电磁场中的运动一、带电粒子在电场中的运动一、带电粒子在电场中的运动一、带电粒子在电场中的运动一、带电粒子在电场中的运动电子经过电势差为电子经过电势差为U U所得到的能量变成动能。所得到的能量变成动能。1、带电粒子在平行电场中的运动、带电粒子在平行电场中的运动2、带电粒子在径向电场中的运动、带电粒子在径向电场中的运动两个同轴圆柱电极,两极两个同轴圆柱电极,两极之间的电场是径向的。则之间的电场是径向的。则其强度为其强度为设电子以横向速度设电子以横向速度v0在在r=r0处处进入此电场,若电子在进入此电场,若电子在r=r0处处受到的