1第第 五五 章章 第六节 压阻式压力传感器的结构、性能与应用第五节 硅压阻式压力传感器的测量与补偿线路第一节 应力、应变的基本概念第二节 导体受力后电阻的变化第三节 压阻式压力传感器的基本原理第四节 压阻式(扩散硅)压力传感器的结构设计3第五章 力学量传感器力学量传感器主要是用于测量力、加速度、扭力、压力、流量等物理量。这些物理量的测量都是与机械应力有关，所以把这类传感器称为力学量传感器。力学量传感器的种类繁多，应用较为普遍的有：电阻式、电容式、变磁阻式、振弦式、压阻式、压电式、光纤式等。不同类型的力学量传感器所涉及的原理、材料、特性及工艺也各不相同，本章只准备对扩散硅压阻式压力传感器的原理、设计及部分工艺作一讨论。4第一节 应力、应变的基本概念1.应力的基本概念 在一组自相平衡的外力作用下物体内各个部分产生相互作用力，我们用应力来描写。给一根截面积为 的均匀直杆两端施加方向相反的拉力 。如果在杆中 点作一垂直于杆轴的截面并且考虑被这截面分开的左半段杆子，根据静力平衡要求，在此截面上分布有合力为 的力，这个力就是右半段杆子通过截面 作用到 左半段杆子上的内力。我们把作用在单位面积上的
