第十三章第十三章电子探针显微分析电子探针显微分析 Electron Probe Micro-Analysis 1概概 述（述（1）n电子探针：电子探针：它是在电子光学电子光学和 X 射线光谱学射线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率、综合分析的仪器。n功能：功能：在观察微观形貌观察微观形貌的同时，进行微区成分分析微区成分分析。n原理：原理：是用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征 X 射线，分析特征分析特征 X 射线的波长射线的波长（或特征能量或特征能量），），可可对样品中所含元素的种类对样品中所含元素的种类进行进行定性分析定性分析；分析分析 X 射线的强射线的强度，则可对应元素含量度，则可对应元素含量进行进行定量分析。定量分析。n构造：构造：主机部分与 SEM 相同，只增加了检测X射线的信号的谱仪，用于检测X射线的特征波长或特征能量。2第一节第一节 电子探针仪的结构与工作原理电子探针仪的结构与工作原理 3电子探针仪的结构电子探针仪的结构n电子探针仪的结构示意图：电子探针仪的结构示意图：电子探针仪：电子探针仪：信号检测系统是 X 射线谱仪。射线谱仪。1.波长分散谱仪：波长分
