第四章第四章 扫描电子显微镜扫描电子显微镜 （SEM)Scanning Electron Microanalyzer 大纲扫描电镜优点扫描电镜优点 引引 言言扫描电镜衬度像扫描电镜衬度像扫描电镜的主要指标扫描电镜的主要指标电子束与固体样品作用时产生的信号电子束与固体样品作用时产生的信号扫描电镜的构造扫描电镜的构造扫描电镜的工作原理扫描电镜的工作原理大纲扫描电镜图像异常扫描电镜图像异常扫描电镜的样品制备扫描电镜的样品制备扫描电镜图像产生缺陷的原因扫描电镜图像产生缺陷的原因扫描电镜的应用实例扫描电镜的应用实例1.引言引言 扫描电子显微镜简称为扫描电镜，英文缩写为扫描电子显微镜简称为扫描电镜，英文缩写为SEM(Scanning Electron Microscope)，是一种新型的电子光学仪器，是一个复，是一种新型的电子光学仪器，是一个复杂的系统，浓缩了电子光学技术、真空技术、精细机械结构以及现代计算杂的系统，浓缩了电子光学技术、真空技术、精细机械结构以及现代计算机控制技术。它是用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互机控制技术。它是用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互作
