工艺部专题讲座工艺部专题讲座膜系设计、结构及调试膜系设计、结构及调试1 1主要内容：1.膜系设计原理2.膜系结构3.调试过程2 2光学设计光学设计1.1.宏观薄膜干涉理论宏观薄膜干涉理论 干涉的条件：同一光源发出、频率相同、振动方向相同、路径不同、相位差恒定干涉的结果：相长和相消利用干涉现象，通过调节膜厚来改变颜色或反射率的分析 （1）叠加原理 -90+90之间发生相长干涉；90270之间发生相消干涉 （2）界面反射光线的相位变化 当光线由光疏介质进入光密介质时，界面处的反射光线会有180的相位变化 （3）进入光密介质被压缩 用于计算膜层1/4波长的光学厚度。eg:550nm处得到一个1/4波长厚度的SiO2(n=1.45)膜层的计算：真空1/4 波长：5504=137.5 在 SiO2 中被压缩后的修正值：137.51.45=94.8 在550nm处得到1/4波长光学厚度，SiO2的膜层厚度应该约为95nm。3 3举例：设计一个SiO2膜，尽可能地削弱在550nm处的反射分析：两列光在界面处反射都有180相位变化，相互抵消，由路径带来的相位变化即为最终的相位变化；尽可能削弱550nm
