现代半导体器件物理现代半导体器件物理天津工业大学天津工业大学MESFETMESFET及相关器件及相关器件 1 1MESFETMESFET及相关器件及相关器件现代半导体现代半导体器件物理器件物理Physics of Modern Semiconductor Devices2004,7,30.现代半导体器件物理现代半导体器件物理天津工业大学天津工业大学MESFETMESFET及相关器件及相关器件 2 2本章内容本章内容q金属金属-半半导体接触体接触 q金半金半场效效应晶体管晶体管 q调制制掺杂场效效应晶体管晶体管.现代半导体器件物理现代半导体器件物理天津工业大学天津工业大学MESFETMESFET及相关器件及相关器件 3 3MESFET与与MOSFET相似之处：相似之处：具有相似的电流-电压特性。不同之处：不同之处：栅电极部分，MESFET利用金属-半导体的整流接触取代了MOSFET的MOS结构；源极与漏极部分，MESFET以欧姆接触取代MOSFET中的p-n结。MESFETMESFET2SiOL+n+njrZdp衬底z)(yEy)(xEx源极栅极漏极2SiOL+n+njrZdp衬底衬底z
