激光化学刻蚀介绍激光化学刻蚀介绍课程名称：激光加工技术课程名称：激光加工技术主讲教师：王文权主讲教师：王文权 单位：浙江工贸职业技术学院单位：浙江工贸职业技术学院1.1.教学目标教学目标 了解激光微细加工中激光化学刻蚀技术的特点和应用。了解激光微细加工中激光化学刻蚀技术的特点和应用。2.1 2.1 激光化学刻蚀的概念和特点激光化学刻蚀的概念和特点 激激光光化化学学刻刻蚀蚀通通常常是是指指在在一一定定气气体体氛氛围围下下用用高高强强度度激激光光照照射射硅硅表表面面，以以达达到到极极高高的的腐腐蚀蚀速速度度，也也称称照照相相平平板板印印刷刷。不不同同于于溶溶液液或或电电化化学学腐腐蚀蚀，激激光光刻刻蚀蚀对对形形状状及及轮轮廓廓适适应应性性强强，可可制制造形状复杂的微型机械。造形状复杂的微型机械。2.2.激光化学刻蚀技术介绍激光化学刻蚀技术介绍有有选选择择性性地地从从衬衬底底（硅硅片片）表表面面去去除除不不需需要要的的材材料料，目目的的是是在在涂涂胶胶硅硅片片上上获获得得光光刻刻图图形形对对应应的的图图形形，受受光光刻刻胶胶保保护护的的材材料料层层不不被被腐蚀源所侵蚀腐蚀源所侵蚀图图1 1
